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產(chǎn)品名稱:

顯微分光膜厚儀

發(fā)布日期: 2024-07-24
訪問量: 2170
顯微分光膜厚儀,使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過絕對反射率進(jìn)行測量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。
  • 詳細(xì)內(nèi)容

顯微分光膜厚儀

測量目標(biāo)膜的**反射率,高精度測量膜厚和光學(xué)常數(shù)!非接觸·非破壞·顯微

測量時間僅1秒!

OPTM系列使用顯微光譜法在微小區(qū)域內(nèi)通過**反射率進(jìn)行測量,可進(jìn)行高精度膜厚度/光學(xué)常數(shù)分析。通過非破壞性和非接觸方式測量涂膜的厚度,例如各種膜、晶片、光學(xué)材料和多層膜。 測量時間上,能達(dá)到1秒/點(diǎn)的高速測量,并且搭載了即使是初次使用的用戶,也可容易出分析光學(xué)常數(shù)的軟件

<strong>顯微分光膜厚儀</strong>(OPTM系列)(圖1)

產(chǎn)品特點(diǎn):

頭部集成了薄膜厚度測量所需功能

通過顯微光譜法測量高精度**反射率(多層膜厚度,光學(xué)常數(shù))

1點(diǎn)1秒高速測量

顯微分光下廣范圍的光學(xué)系統(tǒng)(紫外***近紅外)

區(qū)域傳感器的安全機(jī)制

易于分析向?qū)?,初學(xué)者也能夠進(jìn)行光學(xué)常數(shù)分析

獨(dú)立測量頭對應(yīng)各種inline客制化需求

支持各種自定義

測量項目:

**反射率測量

多層膜解析

光學(xué)常數(shù)分析(n:折射率,k:消光系數(shù))

應(yīng)用:

半導(dǎo)體:晶圓樣品的自動調(diào)整,晶圓的彎曲檢測

光學(xué)元器件:鏡頭鏡片的放射率,彎曲等檢測

顯微分光膜厚儀 產(chǎn)品規(guī)格型號:


OPTM-A1

OPTM-A2

OPTM-A3

波長范圍

230 ~ 800 nm

360 ~ 1100 nm

900 ~ 1600 nm

膜厚范圍

1nm ~ 35μm

7nm ~ 49μm

16nm ~ 92μm

測定時間

1秒 / 1點(diǎn)

光斑大小

10μm (***小約5μm)

感光元件

CCD

InGaAs

光源規(guī)格

氘燈+鹵素?zé)? 

鹵素?zé)?/p>

電源規(guī)格

AC100V±10V 750VA(自動樣品臺規(guī)格)

尺寸

555(W) × 537(D) × 568(H) mm (自動樣品臺規(guī)格之主體部分)

重量

約 55kg(自動樣品臺規(guī)格之主體部分)

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